真空镀膜机的制作方法

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如何制作真空镀膜机

在真空环境中,将材料加热和电镀到基板上的技术是真空蒸发。具体地,真空蒸发是这样一种过程,其中将要成膜的物质置于真空中以蒸发或升华以沉淀在工件或基板的表面上。真空蒸发中的电镀通常是铝膜,但是也可以通过蒸发沉积形成其他电镀层。但是,现有的涂布机结构复杂,成本高,不能完全满足工业生产的要求,不利于降低涂布产品的成本。

本发明提供一种手套箱蒸发一体机,通过真空镀膜系统和真空手套箱系统集成,可在高真空蒸发室内进行薄膜蒸发,在手套高纯度惰性气体环境下进行框。储存,制备样品并蒸发后检测样品。

蒸发涂层与手套箱相结合,实现蒸发,封装和测试的完全封装过程,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境大气系统中,消除了有机大面积电路制备过程。不稳定因素对大气环境的影响确保了高性能,大面积有机光电器件和电路的制备。

真空镀膜系统:主要用于太阳能电池钙钛矿,OLED和PLED,半导体制备的实验研究和应用。

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